Massenspektrometer

Das Massenspektrometer ist ein Analysegerät, das das Masse-zu-Ladung-Verhältnis von Ionen misst. Die Ergebnisse werden als Massenspektrum dargestellt, also als ein Intensitätsdiagramm in Abhängigkeit vom Verhältnis zwischen Masse und Ladung.

Das zu analysierende Gas, normalerweise ein Tracergas wie Helium, Wasserstoff oder SF6, wird im Vakuum ionisiert. Ionen des Gases werden durch zusätzliche Spannung beschleunigt und im Magnetfeld weiter getrennt. Der Ionenstrom wird mittels eines Detektors in einen elektrischen Strom umgewandelt. Dieser wird beschleunigt und mithilfe von Dichtheitsprüfmaschinen auf dem Display angezeigt. Der gemessene Strom steht in direktem Verhältnis zur Heliumkonzentration, wodurch sich die Leckage messen lässt.