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质谱仪

质谱仪是一种测量离子“质荷比”的分析仪器。其测量结果是以“质谱”的形式呈现的，即：一个“质荷比”函数的强度图。

我们分析的气体（通常是“示踪气体”，例如：氦气、氢气或SF6）是在真空环境中进行电离的。气体离子可利用增加电压来进行加速，并在磁场中进一步分离。离子电流有一个探测器转变成一股电流。这股电流可通过泄漏检测装置进行加速，并显示在屏幕上。测量到的电流与氦气的浓度成正比，这样就可以检测到泄漏。

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